대형 재결정 탄화규소 웨이퍼 보트

간단한 설명:

Semicera 에너지 기술 유한 회사는 중국에 설립된 하이테크 기업입니다. 우리는 전문 공급 반도체 산업 재결정 탄화 규소 크리스탈 보트 제조 업체 및 공급 업체입니다.


제품 세부정보

제품 태그

재결정된 탄화규소의 특성

재결정 탄화규소(R-SiC)는 다이아몬드 다음으로 경도가 높은 고성능 소재로 2000℃ 이상의 고온에서 형성됩니다. 고온 강도, 강한 내식성, 우수한 내산화성, 우수한 열 충격 저항성 등과 같은 SiC의 우수한 특성을 많이 유지합니다.

● 기계적 성질이 우수합니다. 재결정화된 탄화규소는 탄소 섬유보다 강도와 강성이 높고 내충격성이 높으며 극한 온도 환경에서 우수한 성능을 발휘할 수 있으며 다양한 상황에서 더 나은 균형 성능을 발휘할 수 있습니다. 또한 유연성도 좋아 늘어나거나 구부려도 쉽게 손상되지 않아 성능이 크게 향상됩니다.

● 높은 내식성. 재결정화된 탄화규소는 다양한 매체에 대한 내식성이 높고, 다양한 부식성 매체의 침식을 방지할 수 있으며, 기계적 성질을 오랫동안 유지할 수 있고, 접착력이 강하여 수명이 길어집니다. 또한 열 안정성이 뛰어나 특정 온도 변화 범위에 적응할 수 있어 적용 효과가 향상됩니다.

● 소결은 수축되지 않습니다. 소결과정에서 수축이 발생하지 않기 때문에 잔류응력에 의한 제품의 변형이나 균열이 발생하지 않으며, 복잡한 형상과 고정밀도의 부품을 제작할 수 있습니다.

기술적인 매개변수:

그림 2

재료 데이터시트

材料재료

R-SiC

사용온도작동 온도(°C)

1600°C (기화기(氧化气氛)산화 환경)

1700°C (还气氛환경 감소)

SiCSiC 함량(%)

> 99

자작자유 Si 함량(%)

< 0.1

체감도부피밀도(g/cm3)

2.60-2.70

气孔率겉보기 다공성(%)

< 16

抗压强도분쇄강도(MPa)

> 600

常温抗弯强degree냉간 굽힘 강도(MPa)

80-90 (20°C)

고온발효도열간 굽힘 강도(MPa)

90-100 (1400°C)

热膨胀系数

열팽창 계수 @1500°C(10-6/°C)

4.70

导熭系数열전도도 @1200°C(W/mK)

23

杨氏模량탄성률(GPa)

240

抗熱震性열충격 저항

很好매우 좋음

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