SEMICERA isostatic PECVD 흑연 보트는 PECVD(플라즈마 강화 화학 기상 증착) 공정에서 웨이퍼 지지용으로 설계된 고순도, 고밀도 흑연 제품입니다. SEMICERA는 첨단 등방압 프레싱 기술을 사용하여 반도체 제조 공정에서 없어서는 안 될 소모품인 흑연 보트가 우수한 고온 저항, 내식성, 치수 안정성 및 우수한 열 전도성을 갖도록 보장합니다.
SEMICERA 등방성 PECVD 흑연 보트에는 다음과 같은 장점이 있습니다.
▪ 고순도: 흑연 재료는 웨이퍼 표면의 오염을 방지하기 위해 순도가 높고 불순물 함량이 낮습니다.
▪ 고밀도: 밀도가 높고 기계적 강도가 높으며 고온, 고진공 환경을 견딜 수 있습니다.
▪ 우수한 치수 안정성: 고온에서 치수 변화가 작아 공정 안정성이 보장됩니다.
▪ 우수한 열전도율: 효과적으로 열을 전달하여 웨이퍼 과열을 방지합니다.
▪ 강한 내식성: 각종 부식성 가스 및 플라즈마에 의한 침식에 강합니다.
| 성능 매개변수 | 반세라 | SGL R6510 | 성능 매개변수 |
| 부피밀도(g/cm3) | 1.91 | 1.83 | 1.85 |
| 굴곡강도(MPa) | 63 | 60 | 49 |
| 압축강도(MPa) | 135 | 130 | 103 |
| 쇼어 경도(HS) | 70 | 64 | 60 |
| 열팽창계수(10-6/K) | 85 | 105 | 130 |
| 열팽창계수(10-6/K) | 5.85 | 4.2 | 5.0 |
| 저항률(μΩm) | 11-13 | 13 | 10 |
우리를 선택할 때의 이점:
▪ 재질 선택: 제품 품질을 보장하기 위해 고순도 흑연 재질을 사용합니다.
▪ 가공 기술: 제품 밀도와 균일성을 보장하기 위해 Isostatic Pressing이 사용됩니다.
▪ 크기 맞춤화: 다양한 크기와 모양의 흑연 보트를 고객 요구에 따라 맞춤화할 수 있습니다.
▪ 표면처리 : 탄화규소, 질화붕소 코팅 등 다양한 표면처리 방법을 제공하여 다양한 공정 요구사항을 충족시킵니다.
