LED 산업의 ICP 에칭 공정을 위한 SiC 핀 트레이

간단한 설명:

LED 산업의 ICP 에칭 공정을 위한 Semicera의 SiC 핀 트레이는 에칭 응용 분야의 효율성과 정밀도를 향상시키도록 특별히 설계되었습니다. 고품질 탄화규소로 제작된 이 핀 트레이는 뛰어난 열 안정성, 내화학성 및 기계적 강도를 제공합니다. LED 제조 공정의 까다로운 조건에 이상적인 Semicera의 SiC 핀 트레이는 균일한 에칭을 보장하고 오염을 최소화하며 전반적인 공정 신뢰성을 향상시켜 고품질 LED 생산에 기여합니다.


제품 세부정보

제품 태그

제품 설명

당사는 흑연, 세라믹 및 기타 소재의 표면에 CVD 공법으로 SiC 코팅 공정 서비스를 제공하고 있으며, 탄소와 실리콘을 함유한 특수 가스를 고온에서 반응시켜 고순도의 SiC 분자, 코팅된 소재의 표면에 증착된 분자, SIC 보호층을 형성한다.

주요 특징:

1. 고열 산화 저항:

산화 저항은 온도가 1600C만큼 높을 때 여전히 매우 좋습니다.

2. 고순도 : 고온 염소화 조건에서 화학 기상 증착으로 만들어졌습니다.

3. 내식성: 높은 경도, 조밀한 표면, 미세 입자.

4. 내식성 : 산, 알칼리, 염분 및 유기 시약.

실리콘 카바이드 에칭 디스크(2)

CVD-SIC 코팅 주요 사양

SiC-CVD 속성

결정 구조

FCC β상

밀도

g/cm ³

3.21

경도

비커스 경도

2500

입자 크기

μm

2~10

화학적 순도

%

99.99995

열용량

J·kg-1·K-1

640

승화 온도

2700

굽힘 강도

MPa(RT 4점)

415

영률

Gpa (4pt 굴곡, 1300℃)

430

열팽창(CTE)

10-6K-1

4.5

열전도율

(W/mK)

300

세미세라 작업장
세미세라 작업장 2
장비 기계
CNN 처리, 화학적 세정, CVD 코팅
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