세미세라, 고품질 반도체 선보여실리콘 카바이드 캔틸레버 패들, 현대 반도체 제조의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다.
그만큼실리콘 카바이드 패들열팽창과 뒤틀림을 최소화하는 고급 설계가 특징으로 극한 조건에서도 높은 신뢰성을 제공합니다. 견고한 구조는 향상된 내구성을 제공하여 파손이나 마모의 위험을 줄여줍니다. 이는 높은 수율과 일관된 생산 품질을 유지하는 데 중요합니다. 그만큼웨이퍼 보트또한 표준 반도체 처리 장비와 완벽하게 통합되어 호환성과 사용 편의성을 보장합니다.
Semicera의 뛰어난 기능 중 하나SiC 패들부식성 가스 및 화학 물질에 노출된 환경에서 탁월한 성능을 발휘할 수 있는 내화학성입니다. Semicera는 맞춤화에 중점을 두어 맞춤형 솔루션을 제공합니다.
| 재결정화된 탄화규소의 물리적 특성 | |
| 재산 | 일반적인 값 |
| 작동 온도(°C) | 1600°C(산소 포함), 1700°C(환원 환경) |
| SiC 함량 | > 99.96% |
| 무료 Si 콘텐츠 | < 0.1% |
| 부피 밀도 | 2.60-2.70g/cm23 |
| 겉보기 다공성 | < 16% |
| 압축 강도 | > 600MPa |
| 냉간 굽힘 강도 | 80-90MPa(20°C) |
| 뜨거운 굽힘 강도 | 90-100MPa(1400°C) |
| 열팽창 @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| 열전도도 @1200°C | 23W/m•K |
| 탄성률 | 240GPa |
| 열충격 저항 | 매우 좋음 |
