고순도 탄탈륨 탄소 코팅 링

간단한 설명:

Semicera의 고순도 탄탈륨 탄소 코팅 링은 최대 2300°C의 온도를 견딜 수 있는 에피택시 장비에 필수적입니다. 탁월한 열 안정성과 고순도는 까다로운 반도체 제조 공정에서 안정적인 성능을 보장합니다. Semicera의 앞선 코팅 기술은 고온 환경에서도 뛰어난 내구성과 효율성을 보장합니다.


제품 세부정보

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Semicera는 다양한 부품과 캐리어에 특화된 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅을 제공합니다.Semicera의 선도적인 코팅 공정을 통해 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅이 고순도, 고온 안정성 및 높은 화학적 내성을 달성하여 SIC/GAN 결정 및 EPI 층의 제품 품질을 향상시킵니다.흑연 코팅 TaC 서셉터), 주요 원자로 구성 요소의 수명을 연장합니다. 탄탈륨 카바이드 TaC 코팅을 사용하는 것은 엣지 문제를 해결하고 결정 성장 품질을 향상시키는 것이며 Semicera는 탄탈륨 카바이드 코팅 기술(CVD)을 획기적인 방식으로 해결하여 국제 선진 수준에 도달했습니다.

 

고순도 탄탈륨 탄소 코팅 링은 항공우주, 화학, 반도체 제조 및 기타 분야의 특수 장비 및 시스템에 널리 사용됩니다. 일반적으로 고온 및 부식성 환경에서 밀봉 및 전송에 사용되어 안정적인 성능과 긴 수명을 제공하고 장비의 안정적인 작동과 제품 품질을 보장합니다.

고순도 탄탈륨 탄소 코팅 링의 특성은 다음과 같습니다.

1. 고온 안정성: 고순도 탄탈륨 탄소 코팅 링은 고온 환경에서 구조적 안정성을 유지할 수 있으며 내열성이 뛰어나 고온 조건을 견뎌야 하는 응용 분야에 적합합니다.
2. 내식성: 탄탈륨 재료 자체는 내식성이 우수하며 표면에 형성된 탄탈륨 카바이드 코팅은 내식성을 더욱 향상시키고 다양한 화학 물질 및 용제의 침식에 저항할 수 있습니다.
3. 내마모성 : 탄탈륨 카바이드 코팅은 높은 경도와 내마모성을 가지며 마찰 및 마모 환경에서 우수한 성능을 유지하고 서비스 수명을 연장할 수 있습니다.
4. 탁월한 밀봉 성능: 고순도 탄탈륨 탄소 코팅 링은 밀봉 성능이 우수하고 가스 또는 액체 누출을 효과적으로 방지할 수 있으며 밀봉 요구 사항이 높은 응용 시나리오에 적합합니다.

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TaC 유무에 관계없이

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TaC 사용 후(오른쪽)

게다가 Semicera의TaC 코팅제품비해 수명이 길고 고온 저항이 뛰어납니다.SiC 코팅.실험실 측정 결과에 따르면 우리는TaC 코팅장시간 동안 최대 섭씨 2300도의 온도에서 일관되게 작동할 수 있습니다. 다음은 샘플의 몇 가지 예입니다.

 
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