솔리드 CVD 실리콘 카바이드 부품은 높은 시스템 요구 작동 온도(>1500℃)에서 작동하는 RTP/EPI 링 및 베이스와 플라즈마 에칭 캐비티 부품에 대한 주요 선택으로 인식되며, 순도에 대한 요구 사항은 특히 높습니다(>99.9995%). 화학물질에 대한 저항성이 특히 높을 때 성능이 특히 좋습니다. 이러한 재료는 입자 가장자리에 2차 상을 포함하지 않으므로 해당 구성 요소는 다른 재료보다 적은 수의 입자를 생성합니다. 또한 이러한 구성 요소는 뜨거운 HF/HCl을 사용하여 품질 저하 없이 세척할 수 있으므로 입자가 줄어들고 서비스 수명이 길어집니다.
