설명
탄화 규소 세라믹은 고강도, 고경도, 고탄성률 등과 같은 실온에서 우수한 기계적 특성을 가지며, 높은 열전도율, 낮은 열팽창 계수, 우수한 비강성 및 광학성과 같은 우수한 고온 안정성도 가지고 있습니다. 처리 성능.
이는 SiC 캐리어/서셉터, SiC 웨이퍼 보트, 흡입 디스크, 수냉판, 정밀 측정 반사판, 격자 및 기타 세라믹 구조 부품을 제조하는 데 주로 사용되는 리소그래피 기계와 같은 집적 회로 장비용 정밀 세라믹 부품을 생산하는 데 특히 적합합니다.
장점
고온 저항 : 1800 ℃에서 정상 사용
높은 열전도율: 흑연 소재와 동일
높은 경도: 다이아몬드, 질화붕소 다음으로 높은 경도
내식성 : 강산 및 알칼리에는 부식이 없으며 내식성은 텅스텐 카바이드 및 알루미나보다 우수합니다.
경량 : 저밀도, 알루미늄에 가깝습니다.
변형 없음: 낮은 열팽창 계수
열 충격 저항: 급격한 온도 변화를 견딜 수 있고 열 충격에 강하며 안정적인 성능을 갖습니다.
SiC 에칭 캐리어, ICP 에칭 서셉터와 같은 탄화규소 캐리어는 반도체 CVD, 진공 스퍼터링 등에 널리 사용됩니다. 당사는 고객에게 다양한 응용 분야에 맞게 실리콘 및 탄화규소 재료로 구성된 맞춤형 웨이퍼 캐리어를 제공할 수 있습니다.
장점
| 재산 | 값 | 방법 |
| 밀도 | 3.21g/cc | 싱크 플로트 및 치수 |
| 비열 | 0.66J/g°K | 펄스 레이저 플래시 |
| 굴곡강도 | 450MPa560MPa | 4포인트 벤드, RT4 포인트 벤드, 1300° |
| 파괴인성 | 2.94MPa·m1/2 | 미세압입 |
| 경도 | 2800 | 비커스, 500g 로드 |
| 탄성률Young's Modulus | 450GPa430GPa | 4포인트 벤드, RT4포인트 벤드, 1300°C |
| 입자 크기 | 2~10μm | SEM |
회사 프로필
WeiTai Energy Technology Co., Ltd.는 고급 반도체 세라믹 공급업체이자 고순도 탄화규소 세라믹(특히 재결정 SiC)과 CVD SiC 코팅을 동시에 제공할 수 있는 중국 유일의 제조업체입니다. 이 밖에도 알루미나, 질화알루미늄, 지르코니아, 질화규소 등 세라믹 분야에도 주력하고 있다.
당사의 주요 제품은 탄화규소 에칭 디스크, 탄화규소 보트 토우, 탄화규소 웨이퍼 보트(광발전 및 반도체), 탄화규소 용광로 튜브, 탄화규소 캔틸레버 패들, 탄화규소 척, 탄화규소 빔, CVD SiC 코팅 및 TaC입니다. 코팅. 결정 성장 장비, 에피택시 장비, 에칭 장비, 패키징 장비, 코팅 장비, 확산로 등 반도체 및 광전지 산업에 주로 사용되는 제품입니다.
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