고순도 다공성 탄탈륨 카바이드 코팅 배럴

간단한 설명:

Semicera의 고순도 다공성 탄탈륨 코팅 배럴은 탄화규소(SiC) 결정 성장로를 위해 특별히 설계되었습니다. 고순도 탄탈륨 카바이드 코팅과 다공성 구조를 갖춘 이 배럴은 탁월한 열 안정성과 화학적 부식에 대한 저항성을 제공합니다. Semicera의 고급 코팅 기술은 SiC 결정 성장 공정에서 오래 지속되는 성능과 효율성을 보장하므로 까다로운 반도체 응용 분야에 이상적인 선택입니다.


제품 세부정보

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다공성 탄탈륨 카바이드 코팅배럴은 탄탈륨 카바이드를 주요 코팅 재료로 사용하며, 탄탈륨 카바이드는 내식성, 내마모성 및 고온 안정성이 우수합니다. 화학적 침식 및 고온 대기로부터 모재를 효과적으로 보호할 수 있습니다. 기본 재료는 일반적으로 고온 저항 및 내식성의 특성을 가지고 있습니다. 이는 우수한 기계적 강도와 화학적 안정성을 제공하는 동시에탄탈륨 카바이드 코팅.

 

Semicera는 다양한 부품과 캐리어에 특화된 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅을 제공합니다.Semicera의 선도적인 코팅 공정을 통해 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅이 고순도, 고온 안정성 및 높은 화학적 내성을 달성하여 SIC/GAN 결정 및 EPI 층의 제품 품질을 향상시킵니다.흑연 코팅 TaC 서셉터), 주요 원자로 구성 요소의 수명을 연장합니다. 탄탈륨 카바이드 TaC 코팅을 사용하는 것은 엣지 문제를 해결하고 결정 성장 품질을 향상시키는 것이며 Semicera는 탄탈륨 카바이드 코팅 기술(CVD)을 획기적인 방식으로 해결하여 국제 선진 수준에 도달했습니다.

 

수년간의 개발 끝에 Semicera는CVD TaCR&D 부서의 공동 노력으로 SiC 웨이퍼는 성장 과정에서 결함이 발생하기 쉽지만, 사용 후에는TaC, 그 차이는 상당합니다. 아래는 TaC 유무에 따른 웨이퍼와 단결정 성장을 위한 Simicera 부품을 비교한 것입니다.

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TaC 유무에 관계없이

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TaC 사용 후(오른쪽)

게다가 Semicera의TaC 코팅제품비해 수명이 길고 고온 저항이 뛰어납니다.SiC 코팅.실험실 측정 결과에 따르면 우리는TaC 코팅장시간 동안 최대 섭씨 2300도의 온도에서 일관되게 작동할 수 있습니다. 다음은 샘플의 몇 가지 예입니다.

 
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