설명
흑연 서셉터실리콘 카바이드 코팅, 6개6인치 웨이퍼 캐리어semicera의 제품은 고성능 에피택셜 성장 애플리케이션을 위한 뛰어난 내구성과 열 전도성을 제공합니다. Semicera는 다음과 같은 프로세스를 향상시키기 위해 설계된 고급 서셉터를 전문으로 합니다.Si 에피택시그리고SiC 에피택시, 까다로운 반도체 환경에서 안정적인 성능을 보장합니다.
이 서셉터는 다음과 함께 사용하도록 특별히 설계되었습니다.MOCVD 서셉터PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier, RTP Carrier 등 다양한 캐리어와의 호환성을 제공합니다. 이는 단결정 실리콘 생산 및 LED 에피택셜 서셉터 설정에 이상적이며 배럴 서셉터 및 팬케이크 서셉터 설계를 포함한 다양한 구성의 다양성을 제공합니다.
탄화 규소 코팅이 적용된 흑연 서셉터는 광전지 부품과의 통합을 통해 태양 에너지 분야의 응용 분야도 지원하며 SiC 에피택시 공정의 GaN 성능이 뛰어납니다. 6인치 웨이퍼 캐리어 용량은 높은 처리량을 보장하므로 반도체 및 광전지 산업 제조업체에 필수적인 도구입니다.
주요 특징
CVD-SIC 코팅의 주요 사양:
| SiC-CVD | ||
| 밀도 | (g/cc) | 3.21 |
| 굴곡강도 | (MPa) | 470 |
| 열팽창 | (10-6/K) | 4 |
| 열전도율 | (W/mK) | 300 |
포장 및 배송
공급 능력:
달 당 10000 조각/조각
포장 및 배송:
포장:표준 및 강력한 포장
많은 부대 + 상자 + 판지 + 깔판
포트:
닝보/심천/상하이
리드타임:
| 수량(개) | 1-1000 | >1000 |
| 예상 시간(일) | 30 | 협상 예정 |
