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실리콘 카바이드 퍼니스 튜브주로 4-6인치 실리콘 웨이퍼 LTO= 실리카, SIPOS= 옥시폴리실리콘, SI3N4= 질화규소, PSG= 포스포실리콘 유리, POLY= 폴리실리콘막 성장에 사용됩니다.원료가스(또는 액체소스 가스화)가 열에너지에 의해 활성화되어 기판 표면에 고체막을 생성하는 것입니다.저압 화학기상증착법은 저압력에서 진행되는데, 그 압력이 낮기 때문에 기체 분자의 평균 자유행정이 커서 성장된 막의 균일성이 좋고, 기판을 수직으로 배치할 수 있고 양이 적다. 로딩이 크며 특히 대규모 집적 회로, 개별 장치, 전력 전자, 광전자 장치 및 광섬유 및 기타 산업 생산 특수 장비 산업에 적합합니다.
Semicera Energy Technology Co., Ltd는 탄화 규소 세라믹 제품의 전문 연구, 개발, 생산 및 판매입니다.세미세라 에너지는 2016년 설립 이후 등압성형 공정, 천압성형 공정, 그라우팅 성형공정, 진공압출성형 공정을 마스터해왔습니다.우리 회사는 6개의 탄화 규소 세라믹 소결 생산 라인을 사용하고 8개의 CNC, 6개의 정밀 연삭 기계를 보유하고 있으며 탄화 규소 세라믹 소결 제품을 제공할 수 있을 뿐만 아니라 탄화 규소 세라믹, 알루미나 세라믹, 질화 알루미늄 세라믹, 지르코니아 세라믹 가공 서비스도 제공할 수 있습니다. .
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