다양한 반도체 공정에서 웨이퍼 이송을 위한 탄화규소 세라믹 이펙터

특징 및 장점

1. 정확한 치수 및 열 안정성

2. 높은 비 강성과 우수한 열 균일 성, 장기간 사용시 변형이 쉽지 않습니다.

3. 표면이 매끄러우며 내마모성이 우수하여 파티클 오염 없이 칩을 안전하게 취급할 수 있습니다.

4. ESD 방지 사양 요구 사항에 따라 비자 성 106-108Ω의 탄화 규소 저항;칩 표면에 정전기가 쌓이는 것을 방지할 수 있습니다.

5. 좋은 열 전도성, 낮은 팽창 계수.