맞춤형 반도체 ICP 트레이(에칭)

간단한 설명:

Semicera Energy Technology Co., Ltd.는 웨이퍼 및 첨단 반도체 소모품 전문 공급업체입니다.우리는 반도체 제조에 고품질, 신뢰성, 혁신적인 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다.광전지 산업및 기타 관련 분야.

당사의 제품군에는 탄화규소, 질화규소, 산화알루미늄 등 다양한 소재를 포함하는 SiC/TaC 코팅 흑연 제품과 세라믹 제품이 포함됩니다.

신뢰할 수 있는 공급업체로서 당사는 제조 공정에서 소모품의 중요성을 이해하고 있으며 고객의 요구를 충족하기 위해 최고 품질 표준을 충족하는 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다.

 

제품 세부정보

제품 태그

제품 설명

당사는 흑연, 세라믹 및 기타 소재의 표면에 CVD 공법으로 SiC 코팅 공정 서비스를 제공하고 있으며, 탄소와 실리콘을 함유한 특수 가스를 고온에서 반응시켜 고순도의 SiC 분자, 코팅된 소재의 표면에 증착된 분자, SIC 보호층을 형성한다.

주요 특징:

1. 고열 산화 저항:

산화 저항은 온도가 1600C만큼 높을 때 여전히 매우 좋습니다.

2. 고순도 : 고온 염소화 조건에서 화학 기상 증착으로 만들어졌습니다.

3. 내식성: 높은 경도, 조밀한 표면, 미세 입자.

4. 내식성 : 산, 알칼리, 염분 및 유기 시약.

3

CVD-SIC 코팅 주요 사양

SiC-CVD 속성

결정 구조

FCC β상

밀도

g/cm ³

3.21

경도

비커스 경도

2500

입자 크기

μm

2~10

화학적 순도

%

99.99995

열용량

J·kg-1·K-1

640

승화 온도

2700

굽힘 강도

MPa(RT 4점)

415

영률

Gpa (4pt 굴곡, 1300℃)

430

열팽창(CTE)

10-6K-1

4.5

열전도율

(W/mK)

300


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