6인치 n형 sic 기판

간단한 설명:

6인치 n형 SiC 기판은 6인치 웨이퍼 크기를 사용하는 것이 특징인 반도체 소재로, 더 넓은 표면적에 걸쳐 단일 웨이퍼에서 생산할 수 있는 장치 수를 늘려 장치 수준 비용을 절감합니다. . 6인치 n형 SiC 기판의 개발·적용은 결정을 전위와 평행 방향으로 절단하고 결정을 재성장시켜 전위를 줄여 기판의 품질을 향상시키는 RAF 성장법 등 기술 발전의 혜택을 입었다. 이 기판의 적용은 SiC 파워 디바이스의 생산 효율성을 향상시키고 비용을 절감하는 데 큰 의미가 있습니다.

 


제품 세부정보

제품 태그

탄화규소(SiC) 단결정 소재는 큰 밴드갭 폭(~Si 3배), 높은 열전도도(~Si 3.3배 또는 GaAs 10배), 높은 전자 포화 이동률(~Si 2.5배), 높은 항복 전기적 특성을 가지고 있습니다. 분야(~Si 10배 또는 GaAs 5배) 및 기타 뛰어난 특성.

3세대 반도체 소재에는 주로 SiC, GaN, 다이아몬드 등이 포함되는데, 그 이유는 밴드갭 폭(Eg)이 2.3전자볼트(eV) 이상으로 와이드 밴드갭 반도체 소재라고도 알려져 있기 때문이다. 1세대 및 2세대 반도체 재료와 비교하여 3세대 반도체 재료는 높은 열 전도성, 높은 항복 전기장, 높은 포화 전자 이동률 및 높은 결합 에너지 등의 장점을 갖고 있어 현대 전자 기술의 높은 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 온도, 고전력, 고압, 고주파 및 방사선 저항 및 기타 가혹한 조건. 국방, 항공, 항공우주, 석유탐사, 광저장 등 분야에서 중요한 응용 전망을 갖고 있으며 광대역 통신, 태양에너지, 자동차 제조, 산업 등 많은 전략산업에서 에너지 손실을 50% 이상 줄일 수 있다. 반도체 조명, 스마트 그리드 등을 활용해 장비 부피를 75% 이상 줄일 수 있는데, 이는 인류 과학 기술 발전에 있어 획기적인 의미를 지닌다.

Semicera 에너지는 고객에게 고품질 전도성(전도성), 반절연(반절연), HPSI(고순도 반절연) 탄화규소 기판을 제공할 수 있습니다. 또한, 우리는 고객에게 동종 및 이종 탄화규소 에피택셜 시트를 제공할 수 있습니다. 우리는 또한 고객의 특정 요구에 따라 에피텍셜 시트를 맞춤화할 수 있으며 최소 주문 수량은 없습니다.

기본 제품 사양

크기

 6인치
지름 150.0mm+0mm/-0.2mm
표면 방향 축외:<1120>±0.5°쪽으로 4°
1차 플랫 길이 47.5mm1.5mm
기본 평면 방향 <1120>±1.0°
2차 아파트 없음
두께 350.0um±25.0um
폴리타입 4H
전도성 유형 n형

크리스탈 품질 사양

6인치
P-MOS 등급 P-SBD 등급
비저항 0.015Ω·cm~0.025Ω·cm
폴리타입 허용되지 않음
마이크로파이프 밀도 ≤0.2/cm2 ≤0.5/cm2
EPD ≤4000/cm2 ≤8000/cm2
TED ≤3000/cm2 ≤6000/cm2
BPD ≤1000/cm2 ≤2000/cm2
티에스디 ≤300/cm2 ≤1000/cm2
SF(UV-PL-355nm로 측정) ≤0.5% 면적 1% 이하 면적
고강도 빛에 의한 육각 플레이트 허용되지 않음
고강도 빛에 의한 시각적 탄소 함유물 누적 면적 ≤0.05%
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비저항

폴리타입

6인치 n형 sic 기판(3)
6인치 n형 sic 기판(4)

BPD&TSD

6인치 n형 sic 기판(5)
SiC 웨이퍼

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