탄화규소(SiC) 단결정 소재는 큰 밴드갭 폭(~Si 3배), 높은 열전도도(~Si 3.3배 또는 GaAs 10배), 높은 전자 포화 이동률(~Si 2.5배), 높은 항복 전기적 특성을 가지고 있습니다. 분야(~Si 10배 또는 GaAs 5배) 및 기타 뛰어난 특성.
3세대 반도체 소재에는 주로 SiC, GaN, 다이아몬드 등이 포함되는데, 그 이유는 밴드갭 폭(Eg)이 2.3전자볼트(eV) 이상으로 와이드 밴드갭 반도체 소재라고도 알려져 있기 때문이다. 1세대 및 2세대 반도체 재료와 비교하여 3세대 반도체 재료는 높은 열 전도성, 높은 항복 전기장, 높은 포화 전자 이동률 및 높은 결합 에너지 등의 장점을 갖고 있어 현대 전자 기술의 높은 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 온도, 고전력, 고압, 고주파 및 방사선 저항 및 기타 가혹한 조건. 국방, 항공, 항공우주, 석유탐사, 광저장 등 분야에서 중요한 응용 전망을 갖고 있으며 광대역 통신, 태양에너지, 자동차 제조, 산업 등 많은 전략산업에서 에너지 손실을 50% 이상 줄일 수 있다. 반도체 조명, 스마트 그리드 등을 활용해 장비 부피를 75% 이상 줄일 수 있는데, 이는 인류 과학 기술 발전에 있어 획기적인 의미를 지닌다.
Semicera 에너지는 고객에게 고품질 전도성(전도성), 반절연(반절연), HPSI(고순도 반절연) 탄화규소 기판을 제공할 수 있습니다. 또한, 우리는 고객에게 동종 및 이종 탄화규소 에피택셜 시트를 제공할 수 있습니다. 우리는 또한 고객의 특정 요구에 따라 에피텍셜 시트를 맞춤화할 수 있으며 최소 주문 수량은 없습니다.
웨이퍼링 사양
*n-Pm=n형 Pm-등급,n-Ps=n형 Ps-등급,Sl=반절연
| 목 | 8인치 | 6인치 | 4인치 | ||
| nP | n-Pm | n-P | SI | SI | |
| TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
| 활(GF3YFCD)-절대값 | 15μm 이하 | 15μm 이하 | ≤25μm | 15μm 이하 | |
| 워프(GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
| LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2μm | ||||
| 웨이퍼 에지 | 베벨링 | ||||
표면 마감
*n-Pm=n형 Pm 등급,n-Ps=n형 Ps 등급,Sl=반절연
| 항목 | 8인치 | 6인치 | 4인치 | ||
| nP | n-Pm | n-P | SI | SI | |
| 표면 마감 | 양면 광학 광택제, Si- Face CMP | ||||
| 표면 거칠기 | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm C-페이스 Ra≤ 0.5nm | (5umx5um) Si-페이스 Ra≤0.2nm C면 Ra≤0.5nm | |||
| 엣지 칩 | 없음 허용됨(길이 및 너비≥0.5mm) | ||||
| 들여쓰기 | 허용되지 않음 | ||||
| 스크래치(Si-Face) | 수량 ≤5, 누적 길이≤0.5×웨이퍼 직경 | 수량 ≤5, 누적 길이≤0.5×웨이퍼 직경 | 수량 ≤5, 누적 길이≤0.5×웨이퍼 직경 | ||
| 균열 | 허용되지 않음 | ||||
| 가장자리 제외 | 3mm | ||||
